真空退火爐設(shè)備在運(yùn)用中常遇見三個方面故障主要集中在：電器故障、真空異常、機(jī)械故障，下文分別針對該三種現(xiàn)象進(jìn)行分步驟的解決方案。

一. 電器故障
(一)熱度異樣，囊括熱度過高報警、或預(yù)示熱度達(dá)不到設(shè)定值。
熱度過高報警故障解除步驟：
1. 率先審查所在作業(yè)區(qū)溫控器參數(shù)是否畸形，參考其余畸形運(yùn)用中的溫控器審校所有參數(shù)。
2. 依據(jù)通路圖審查相應(yīng)作業(yè)區(qū)的固態(tài)替續(xù)器輸入端是否被擊穿，具本步驟：停電后，用萬用表電阻檔測量固態(tài)替續(xù)器輸入端零點之間的電阻，畸形時，電阻會有多少兆歐之上，那末被擊穿，則簡直沒有電阻，須要按同型號換上新的。
3. 在回電開機(jī)的狀況下，用手重?fù)u相應(yīng)作業(yè)區(qū)內(nèi)的熱電偶探頭，看看所對應(yīng)的溫控器預(yù)示是否撲騰幅度很大，那末有此景象，則注明熱電偶探頭接觸不良，需更替新的。

預(yù)示熱度偏低達(dá)不到設(shè)定值：
1. 同樣，率先審查所在作業(yè)區(qū)溫控器的參數(shù)是否畸形，是否有輸入信號。
2. 審查所對應(yīng)作業(yè)區(qū)的熱電偶是否受損，為了驗正該署熱電偶是否良好，可將它們跟畸形溫控器上的熱電偶調(diào)換接到溫控器上，視察熱度預(yù)示狀況。那末確切是熱電偶敗壞，須要更替。(留神：那末更替的熱電偶是內(nèi)腔里的，還會波及到真空密封性能，另外詳解)
3. 那末溫控器、熱電偶都沒問題，則須要測驗發(fā)熱管是否畸形回電作業(yè)。步驟：回電開機(jī)后，啟動加熱，依據(jù)通路圖，間接用試電筆測試對應(yīng)作業(yè)區(qū)的發(fā)熱管聯(lián)接的導(dǎo)線(在固態(tài)的輸入端上紅色低溫線即是)，看是否有電到。那末有電抵達(dá)，還須要用鉗表測量一下直流電是否與其余作業(yè)區(qū)的差異，畸形狀況下，差距不大。
4. 那末沒有電抵達(dá)，則須要按通路圖對通路逐個審查，看看在哪個環(huán)節(jié)電截止了，是否有元件燒壞?

(二)真空異樣景象
真空抽不上或偏低，
1. 率先確認(rèn)廠房的真大氣源是否畸形(-95KPa之上)，壓縮氣壓是否畸形，(畸形運(yùn)用規(guī)模是0.4— 0.6 MPa)。
2. 審查真空表是否良好，對照畸形運(yùn)用中的真空表，看看參數(shù)是否畸形?
3. 審查門是否關(guān)緊，門口的密封膠卷是否有破損，有變形，門板上是否沾有異物?請細(xì)心審查!
4. 那末門沒有問題，則需審查對應(yīng)作業(yè)區(qū)的彈道，氣動閥，熱電偶穿出口等地位。通常在熱電偶出口處涌現(xiàn)狀況較多，所以那末有更替熱電偶的，往往會毀壞了真空的密封性能，須要從新打AB膠繼續(xù)密封。

二、機(jī)械構(gòu)造故障
1.門關(guān)不緊，審查門的合葉是否松動，拉扣是否變形，門口密封膠條是否破損，門板是否變形?
2.風(fēng)機(jī)有異響，請細(xì)心審查是否有異物進(jìn)入風(fēng)機(jī)的風(fēng)輪外面，或生動電機(jī)馬達(dá)的螺絲是否松動。
3.氣動閥無奈舉動，率先審查對應(yīng)的電磁閥是否能畸形作業(yè)，壓縮大氣壓力是否達(dá)成作業(yè)務(wù)求?那末氣壓畸形，且電磁閥也良好，則確定是氣動閥自身壞了，須要更替新的。